高精度真空腔体原理 等离子清洗机的等离子体与材料表面如何相互作用?

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高精度真空腔体原理

等离子清洗机的等离子体与材料表面如何相互作用?

等离子清洗机的等离子体与材料表面如何相互作用?

等离子体是物质的一种存在状态,通常物质以固态、液态、气态三种状态存在,但在一些特殊的情况下有第四种状态存在,如地球大气中电离层中的物质。等离子体状态中存在下列物质:处于高速运动状态的电子;处于激活状态的中性原子、分子、原子团(自由基);离子化的原子、分子;未反应的分子、原子等,但物质在总体上仍保持电中性状态。
在真空腔体里,通过射频电源在一定的压力情况下起辉产生高能量的无序的等离子体,通过等离子体轰击被清洗产品表面.以达到清洗目的.
等离子清洗是等离子表面改性的其中较为常见的一种方式。
清洗的作用原理主要是:
1)对材料表面的刻蚀作用--物理作用
等离子体中的大量离子、激发态分子、自由基等多种活性粒子,作用到固体样品表面,不但清除了表面原有的污染物和杂质,而且会产生刻蚀作用,将样品表面变粗糙,形成许多微细坑洼,增大了样品的比表面。提高固体表面的润湿性能。
2)激活键能,交联作用
等离子体中的粒子能量在0~20eV,而聚合物中大部分的键能在0~10eV,因此等离子体作用到固体表面后,可以将固体表面的原有的化学键产生断裂,等离子体中的自由基与这些键形成网状的交联结构,大大地激活了表面活性。
3)形成新的官能团--化学作用
如果放电气体中引入反应性气体,那么在活化的材料表面会发生复杂的化学反应,引入新的官能团,如烃基、氨基、羧基等,这些官能团都是活性基团,能明显提高材料表面活性。

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硅膜片谐振式差压变送器工作原理简介 日本横河 横河变送器,横河EJA,横河EJX 位于高压端和低压端的金属膜片受到过程压力,通过密封液分别传送到单晶硅片的上下两面。在单晶硅片中,有2个振子腔体,2个振子的固有频率之差就是差压信号。真空腔体中的振子是经过精细加工的(H型谐振梁的长约700μm,宽约25μm,厚约5μm)。由于振子H型谐振梁的4端与单晶硅连接,所以当单晶硅变形时,振子振动频率与压力差成正比例,固有振动频率发生变化。通过永磁体给振子一个磁场,振子的半片和剩余的半片构成一个励磁电路,测量出该电路的固有频率,将该固有频率与另一个振子的固有频率之差转换成差压信号。将差压信号转换成4-20mA、脉冲或数字信号输出。 单晶硅谐振式差压变送器原理单晶硅谐振式差压变送器原理单晶硅谐振式差压变送器原理
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